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无分流检測法
1仪器有效最小可检漏率測量应符合下列要求
a)开启检漏仪,关闭检漏阀,检漏仪保持最佳工作状态。
b)关闭检端仪标准漏孔,測出2min内的本底噪声△N。
c)读出仪器本底N。
d)打开检漏仪标准漏孔,读出并记录稳定后的检漏仪输出指示值。

2连接被检件应符合下列要求:
a)连接被检件,且根据被检件容积的大小选择配置相适应的检漏系统,标准漏孔应安装在被检件真空一阀端。
b)关闭被检件真空阀,开启检测阀、分流阀和检漏阀条件下,启动真空机组。
e)按说明书对仪器进行自校,且检漏仪应符合第5章的要求
d)当真空计指示小于被检件压力时,关闭分流阀。
3系统有效最小可检漏率测量应符合下列要求:
a)打开检测阀,在真空计致使压力小于被检件真空夹层力后,打所被检件真空阀,检漏仪保持稳定的工作压力
b)关闭标准漏孔阀,测出2min内的本底噪声△I。
c)读出系统本底I。
d)打开标准漏孔阀,读出并记录稳定后的检漏仪输出指示值I。
4被检件检漏应符合下列要求
a)将氦气罩套在被检件上,且进行密封;
b)氦气罩及内容器充入已知浓度的氮气。一般情况下,充气后氦气的浓度应不低于10%
e)估算氦气罩内氦气的浓度,并记录氮氦气度
d)打开被检件真空阀,在规定的观察时间内,读出并记录检漏仪输出指示值I,观察时间一匙不少于10min;
e)测量完毕,关闭被检件真空阀。

系统有效最小可泄漏率复验应符合下列要求:

a)打开检測阀,检漏仪保持稳定的工作压力;
b)关闭标准漏孔网,测出2min内的本底噪声△M;
c)读出系统本底M;
d)打开标准漏孔阀,读出并记录稳定后的输出指示值M;
e)复测的有效最小可检漏率应与测量的值基本保持一致;
D)当复测的系统有效最小可检漏率超过测量前的50%时,应调试检漏系统,需重新测量。

 

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